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受主acceptor
半导体中的一种杂质，她承受从价带激发的电子，形成空穴导电。
电阻率允许偏差allowableresistivitytolerance
晶片中心点或晶锭断面中心点的电阻率与标称电阻率的最大允许差值，它可以用标称值的百分数来表示。
厚度允许偏差allowablethicknesstolerance
晶片的中心点厚度与标称值的最大允许差值。
各向异性anisotropic
在不同的结晶学方向有不同物理特性。又称非各向同性，非均质性。
各向异性腐蚀anisotropicetch
沿着特定的结晶学方向，呈现腐蚀速率增加的一种选择性腐蚀。
退火anneali
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