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半导体工艺英语名词解释
CMP
CMP是哪三个英文单词的缩写?
答:ChemicalMechanicalPolishing(化学机械研磨)
CMP是哪家公司制造的?
答:CMP是IBM在八十年月制造的。简述CMP的工作原理?
答:化学机械研磨是把芯片放在旋转的研磨垫(pad)上,再加肯定的压力,用化学研磨液(slurry)来研磨的。为什幺要实现芯片的平坦化?
答:当今电子元器件的集成度越来越高,例如奔腾IV就集成了四千多万个晶体管,要使这些晶体管能够正
常工作,就需要对每一个晶体管加肯定的电压或电流,这就需要引线来将如此多的晶体管连接起来,但是将这幺多的晶体管连接起
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