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填空20’ 简答20’ 推断10’ 综合50’
第一单元
肯定温度,杂质在晶体中具有最大平衡浓度,这一平衡浓度就称为什么?固溶度
按制备时有无使用坩埚分为两类,有坩埚分为?无坩埚分为?〔P24〕有坩埚:直拉法、磁控直拉法
无坩埚:悬浮区熔法
外延工艺按方法可分为哪些?〔P37〕
气相外延、液相外延、固相外延和分子束外延
Wafer的中文含义是什么?目前常用的材料有哪两种?晶圆;硅和锗
自掺杂效应与互集中效应〔P47-48〕
左图:自掺杂效应是指高温外延时,高掺杂衬底的杂质反集中进入气相边界层,又从边界层集中掺入外延层的现象。自掺杂效应是气相外延的本征效应,不行能完全避开。
自掺
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