原创力文档- 1、本文档共7页，其中可免费阅读4页，需付费120金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
除硼效果好/无腐蚀，降低污染/无需复原剂，分解效率高/制备多晶硅金属杂质低
《二》
K有效分凝系数：为描述界面处薄层中杂质浓度的偏离对固相中杂质浓度的影响，通常把
eff
固相杂质浓度C与固体内部杂质浓度C的比值
S L0
K=C/C
eff S L0
kBPS公式
k
K ? 0
eff ?f?
(1?k)e
0
?
D ?k
0
f
:集中层厚度 D集中系数
影响分凝系数的因素：
f?
熔区移动速度
FD/δeD→0,K
f?
→1
eff
FD/? eD→1,K
→0
eff
正常凝固过程，一次区熔过程锭条中杂质浓度CS公式说
文档评论（0）