薄膜制备的化学方法.docx

其次章薄膜制备的化学方法

薄膜制备的化学方法需要肯定的化学反响，这种化学反响可以由热效应引起或者由离子的电致分别引起。在化学气相沉积和热生长过程中，化学反响是靠热效应来实现，而在电镀和阳极氧化沉积过程中则是靠离子的电致分别实现的。

与物理气相沉积相比，尽管化学方法中的沉积过程较为简单，也较为困难，但是薄膜沉积所使用的设备一般比较简洁，价格也较为廉价。

第一节热氧化生长

在充气条件下，大量的氧化物、氮化物和碳化物薄膜可以通过加热基片的方式获得。如：室温下Al基片上形成氧化铝膜。

AirAl2O3

Al

图2-1氧化铝薄膜热生长

热生长制备薄膜虽然不是一种常