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薄膜物理与技术〔孙喜莲版〕
一:填空题
为了争论真空和实际使用便利,依据各压强范围内不同的物理特点,把真空划分为 , , , 四个区域。
在 真空条件下,分子的平均自由程可以与容器尺寸相比较。
列举三种气体传输泵 , 和 。
气体捕获泵是通过各种 材料特有的 将被抽气体吸除,以到达所需真空。
5.
真空计种类很多,通常按测量原理可分为
和
。
6.
气体的吸附现象可分为 和
。
7.
化学气相反响沉积的反响器的设计类型可分为
,
,
和
。
电镀方法只适用于在 上沉积金属和合金,薄膜材料在电解液中是以 的形式存在。制备有序单分子膜的方法是 。
不加任何电场,直接通过化学反响而实现薄膜沉积
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