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半导体学问讲解：ETCH学问100问
何谓蚀刻(Etch)? 答：将形成在晶圆外表上的薄膜全部，或特定处所去除至必要厚度的制程。 蚀刻种类:
答：(1)干蚀刻(2)湿蚀刻 蚀刻对象依薄膜种类可分为:答：poly,oxide,metal半导体中一般金属导线材质为何?
答：鵭线(W)/铝线(Al)/铜线(Cu) 何谓dielectric蚀刻(介电质蚀刻)? 答：Oxideetchandnitrideetch 半导体中一般介电质材质为何? 答：氧化硅/氮化硅 何谓湿式蚀刻 答：利用液相的酸液或溶剂;将不要的薄膜去除何谓电浆Plasma? 答：电浆是物质的第四状态.带有
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