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微电子机械系统（MEMS）技术在军工和民生的应用及发展趋势

引言

微电子机械系统（Micro-Electro-MechanicalSystems,简称MEMS）是20世纪80年代末

在成熟的微电子设计和加工技术的基础上发展起来的一种新兴技术，它是以微电子、微机械

及材料科学为基础，研究设计制造具有特定功能的微型装置。它结合了机械可动结构和大规

模、低成本、微电子加工的优点，在微小尺度上实现与外界电、热、光、声、磁等信号的相

互作用。微电子机械系统通常指特征尺度大于1nm小于1μm，结合电子和机械部件并集成

了IC工艺的装置。MEMS在航空、航天、军事、汽车、生物医学、环境监控等人们所接触

到的几乎所有领域都有十分广阔的应用前景，它是未来国防领域及国民生活领域的关键技术

和支撑技术。

MEMS的突出特点有：

1．微型化：MEMS硬件不仅体积小而且重量轻，耗能低，惯性小，谐振频率高。

2．以硅为主要材料，机械电器性能较好；硅的强度、硬度和弹性模量与铁相当，密度

类似铝，热传导接近钨。

3．多样化：MEMS含有数字和总线接口，具有在网络中应用的条件，便于与PC系统

集成。

4．集成化：可以把不同功能，不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成在

一起，或形成微传感器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系

统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。

5．多学科交叉：MEMS技术集成了电子信息，机械制造，材料与自动控制，物理，化

学等诸多学科，并应用了当今许多高科技成果。

MEMS技术的发展开辟了一个全新的技术领域和产业，MEMS工艺已经应用于军民生活

中。本文就它在国防和民用领域的应用作一介绍，并分析它未来的发展前景。

一、MEMS技术在军事设备中的应用状况

众所周知，最尖端的科技总是先应用于国防，MEMS也一样，军事领域是它应

用最早的领域之一。这很大程度上推动了MEMS技术的飞速发展。当前，MEMS

技术在军事上的应用被世界各个国家所重视。美国国防部高级研究计划局（DARPA）

把MEMS技术确认为美国急需发展的新兴技术，并资助了大量MEMS项目，大力

发展小型惯性测量装置、微全分析系统、RF传感器、网格传感器、无人值守传感

器等项目，应用于单兵携带、战场实时监测、毒气以及细菌检测、武器安全、保险

和引信、弹道修正、子母弹开仓控制、超低功率无线通信信号处理、高密度低功耗

的数据存储器件、敌我识别系统等方面。MEMS在军用设备中的应用日渐广泛和深

入。

1.1MEMS技术对武器平台的优化

在海上武器应用方面，MEMS引信保险和引爆装置已成功用于潜艇鱼雷

对抗武器上。引信保险和引爆装置的工作包括三个独立步骤:发射鱼雷后解除

炸药保险，引爆（引信）和防止在不正确的时间爆炸（保险）。使用镀有金属

层的硅结合巧妙的封装技术，MEMS引爆装置要比传统装置小一个数量级，

可安装在6.25英寸的鱼雷上，这是其他技术很难办到的。

在陆地应用方面，包括灵活而且坚固的爆破装置、发射装置和其他使用MEMS

惯性制导系统的武器平台。MEMS加速度计能承受火炮发射时产生接近10.5g

的冲击力，可以为制导导弹提供一种经济的制导系统，同时使导弹的可靠性

及服务时间提高5倍~10倍，哑弹的数量减少一个数量级。MEMS惯性传感器

用于灵巧弹头和钻地弹头中，其抗震能力足以使其能够做到弹头钻入地下后，

仍能对其进行制导、控制并引爆。MEMS轮胎压力传感器已经用在美国军队

装甲送兵车的轮胎中。

在空气应用方面，采用MEMS传感器和致动器可实现对流体的精确控制，

例如对喷气引擎的紊流控制。长期以来，紊流对航天一直是个技术问题。发

动机中紊流降低了轴流速度，从而使推