第二章空气洁净度等级
第2.0.1条空气洁净度应按表2.0.1规定划分为四个等级。
空气洁净度等级
表2.0.1
每立方米(每升)空气中≥0.5微每立方米(每升)空气中≥5微米
等级
米尘粒数尘粒数
100级<35×100(3.5)
1000级<35×1000(35)<250(0.25)
10000级<35×10000(350)≤2500(2.5)
100000级<35×100000(3500)<25000(25)
注:对于空气洁净度为100级的洁净室内大于等于5微米尘粒的计数,应进行多次采样,当其多
次出现时,方可认为该测试数值是可靠的。
第2.0.2条洁净室空气洁净度等级的检验,应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净室空气
洁净度的测试,应符合附录二规定。
第三章总体设计
第3.1.6条洁净厂房周围的道路面层,应选用整体性好、发尘少的材料。
第3.1.7条洁净厂房周围应进行绿化.可铺植草坪、种植对大气含尘浓度不产生有害影响的树木,
并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。
第二节工艺布置和设计综合协调
第3.2.1条工艺布置应符合下列要求:
一、工艺布置合理、紧凑。洁净室或洁净区内只布置必要的工艺设备以及有空气洁净度等级要求
的工序和工作室;
二、在满足生产工艺要求的前提下,空气洁净度高的洁净室或洁净区宜靠近空气调节机房,空气
洁净度等级相同的工序和工作室宜集中布置,靠近洁净区入口处宜布置空气洁净度等级较低的工作
室;
三、洁净室内要求空气洁净度高的工序应布置在上风侧,易产生污染的工艺设备应布置在靠近回
风口位置;
四、应考虑大型设备安装和维修的运输路线,并预留设备安装口和检修口;
一、动态测试时,洁净室内的噪声级不应超过70分贝A。
二、空态测试时,乱流洁净室的噪声级不宜大于60分贝A;
层流洁净室的噪声级不应大于65分贝A。
注:①由于技术经济条件限制,或噪声大于70分贝A对生产无影响时,噪声级可适当放宽,但
不宜大于75分贝A;
②上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置(人离开)的测量值。对于变动噪声,则取
相同位置处在一个正常工作日内的等效连续声压级。
第3.3.2条洁净室的噪声频谱限制,应采用倍频程声压级;
各频带声压级值不宜大于表3.3.2的规定。
噪声频谱限制值表
3.3.2
三、有送、回风口的支风管为3~6米/秒。
第3.3.7条洁净厂房的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求,不得因控制噪声而
影响洁净室的净化条件。
第四节微振控制
第3.4.1条洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动的设备(包括水泵等)及其通往洁净室的
管道,应采取积极隔振措施。
第3.4.2条对洁净厂房内外各类振源,应测定其对洁净厂房的综合振动影响。如受条件限制,
也可根据经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、精密仪器仪表的允许环境振动值进行比较,
以确定对其采取必要的隔振措施。
第3.4.3条精密设备、精密仪器仪表的隔振措施,应考虑减少发尘量、保持洁净室内合理的气
流组织等要求。当采用空气弹簧隔振台座时,应对气源进行处理,使其达到洁净室的空气洁净度等级。
第四章建筑
第一节一般规定
第4.1.1条洁净厂房的建筑平面和空间布局,应具有适当的灵活性。洁净区的主体结构不宜采
用内墙承重。
一、人员净化用室的入口处,应设净鞋器。
二、存外衣室和洁净工作服室应分别设置。外衣存衣柜和洁净工作服柜应按设计人数每人设一柜。
三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一个。
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