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课题序号 6
授课课时 8
授课章节名 称
使用教具
授课班级授课形式
主题6、金属化
多媒体
075电子1、2讲授
1
了解诶金属化类型
2
把握金属淀积原理
教学目的
3
了解金属化流程
4
把握金属化质量掌握
教学重点 金属淀积原理、金属化质量掌握
教学难点
更、补充、删节内容
课外作业
金属淀积原理
无
6-1——6-20
教学后记
授课主要内容或板书设计
第6章金属化
概述
金属化类型
金属淀积
金属化流程
金属化质量掌握
课堂教学安排
教学过程 主要教学内容及步骤
引言
金属化的概念
在硅片上制造芯片可以分为两局部：
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