半导体薄膜设备行业拓荆科技研究报告.docx

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半导体薄膜设备行业拓荆科技争论报告

国产半导体薄膜沉积设备龙头，品类扩张持续

国产半导体薄膜沉积设备龙头，打破国外垄断

拓荆科技主要从事高端半导体专用设备的研发、生产、销售和技术效劳。公司聚焦的半导体薄膜沉积设备与光刻机、刻蚀机共同构成芯片制造三大主设备。公司主要产品包括等离子体增加化学气相沉积

〔PECVD〕设备、原子层沉积〔ALD〕设备和次常压化学气相沉积

〔SACVD〕设备三个产品系列，已广泛应用于国内晶圆厂14nm及以上制程集成电路制造产线，并已开放10nm及以下制程产品验证测试。公司产品已广泛用于中芯国际、华虹集团、长江存储、长鑫存储、厦门联芯、燕东微电子等国内主流晶圆厂产