集成片式氧传感器及其制作方法.pdfVIP

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN101806768A

(43)申请公布日2010.08.18

(21)申请号CN201010147931.6

(22)申请日2010.04.16

(71)申请人常州联德电子有限公司

地址213000江苏省常州市钟楼经济开发区紫薇路15号

(72)发明人冯江涛杨世养党桂彬

(74)专利代理机构常州市夏成专利事务所(普通合伙)

代理人沈兵

(51)Int.CI

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

集成片式氧传感器及其制作方法

(57)摘要

本发明涉及氧化锆传感器用集成芯

片技术领域，尤其是一种集成片式氧传感

器及其制作方法。该传感器包括氧化锆基

体，氧化锆基体由上层氧化锆基板和下层

氧化锆基板构成，上层氧化锆基板的外表

面带有测量电极，上层氧化锆基板的内表

面带有参比电极和狭长缝隙，下层氧化锆

基板的内表面直接和狭长缝隙接触，下层

氧化锆基板的外表面上覆盖氧化铝陶瓷绝

缘层，氧化铝陶瓷绝缘层直接和铂加热元

件集成在一起，加热电极片和铂加热元件

在氧化锆基体的外表面上直接连接在一

起，氧化锆基体的最外层设有多孔陶瓷保

护层。本发明提供的氧传感器仅有两层氧

化锆基片，并集成加热元件，厚度很薄，

同时其制备工序简单，生产效率很高，稳

定性好。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种集成片式氧传感器，该传感器包括氧化锆基体(1)，其特征是，氧化锆基体(1)

由上层氧化锆基板(11)和下层氧化锆基板(15)构成，上层氧化锆基板(11)的外表面带

有测量电极(12)，上层氧化锆基板(11)的内表面带有参比电极(13)和狭长缝隙(14)，

下层氧化锆基板(15)的内表面直接和狭长缝隙(14)接触，下层氧化锆基板(15)的外表

面上覆盖氧化铝陶瓷绝缘层(16)，氧化铝陶瓷绝缘层(16)直接和铂加热元件(23)集成

在一起，加热电极片(24)和铂加热元件(23)在氧化锆基体(1)的外表面上直接连接在

一起，氧化锆基体(1)的最外层设有多孔陶瓷保护层(18)。

2.根据权利要求1所述的集成片式氧传感器，其特征是，所述狭长缝隙(14)为15微

米到50微米厚。

3.根据权利要求1所述的集成片式氧传感器，其特征是，所述上层氧化锆基板(11)

的内表面通过电极连接通孔(20)和外表面的内电极连接片(19)相连。

4.一种集成片式氧传感器的制作方法，其特征是：包括以下步骤：

第一步，将5％摩尔氧化钇的氧化锆粉末同PVB、松油醇和邻苯二甲酸二丁酯

(DBP)以70～86∶6～12∶4～9∶4～9的质量比混合球磨制备成浆体，然后通过双

刀口技术流延成型，自然干燥后制成氧化锆生坯带，再通过模具冲压成基片坯体，

即上层氧化锆基板(11)；然后将含有70％～90％铂粉的电极浆料和导电浆料印刷在

上层氧化锆基板(11)的内外表面，形成测量电极(12)和参比电极(13)；内表面电极通

过上层氧化锆基板(11)末端冲压形成的电极连接通孔(20)与外表面的内电极连接片

(19)相连；

第二步，将石墨粉、PVB、松油醇和柔软剂以30～46∶20～30∶16～24∶10～24

的质量比混合充分，形成可丝网印刷浆料，并将该浆料印刷并覆盖在内电极表面上；

该参比空气扩散缝隙印刷层(21)宽度要介于上层氧化锆基板(11)和参比电极(13)宽度

之间，厚度要达到15到50微米，烧结后就会形成狭长缝隙(14)；

第三步，将5％摩尔氧化钇的氧化锆粉末同PVB、松油醇和邻苯二甲酸二丁酯

(DBP)以70～86∶6～12∶4～9∶4～9的质量比混合球磨制备成浆体，然后通过双

刀口技术流延成型，自然干燥后制成氧化锆生坯带，再通过模具冲压成基片坯体，

即下层氧化锆基板(15)；将含有纯度达到97％以上的氧化铝粉