YST983-2024 硅多晶还原炉尾气成分的测定气相色谱法-报批稿.pdf

ICS77.040

CCCCCCS

CCSH17YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T983-202X

代替YS/T983-2014

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硅多晶还原炉尾气成分的测定

气相色谱法

Testmethodformeasuringpolysiliconreductionfurnaceexhaustgas

compositiondetermination—Gaschromatography

（报批稿）

2023-XX-XX发布202X-XX-XX实施

YS/T983-202X

前言

本文件按照GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规

定起草。

本文件代替YS/T983-2014《硅多晶还原炉和氢化炉尾气成分的测定方法》，与YS/T983-2014

相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下：

a)更改了范围（见第1章，2014年版的第1章）；

b)更改了规范性引用文件（见第2章，2014年版的第2章）；

c)增加了术语和定义（见第3章）；

d)更改了方法原理（见第4章，2014年版的第3章）；

e)更改了试剂和材料（见第6章，2014年版的第5章）；

f)更改了仪器设备（见第7章，2014版的第6章）；

g)更改了样品采集（见第8章，2014版的第7章）；

h)更改了试验步骤（见第10章，2014版的第8章）；

i)更改了试验数据处理（见第11章，2014版的第9章）；

j)更改了精密度（见第12章，2014年版的第10章）；

k)增加了附录A(见附录A)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会（SAC/TC243）、全国半导体设备和材料标准化技术委

员会材料分技术委员会（SAC/TC203/SC2）提出并归口。

本文件起草单位：亚洲硅业（青海）股份有限公司、青海芯测科技有限公司、青海丽豪半导体

材料有限公司、四川永祥股份有限公司、珀金埃尔默企业管理（上海）有限公司、新疆戈恩斯能源

科技有限公司。

本文件主要起草人：丁小海、韩成福、许保红、陈英春、邢成莉、岳峥、赵小飞、李寿琴、付

国伟、赵娟龙。

本文件于2014年首次发布为YS/T983-2014，本次为第一次修订。

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YS/TXXXX-202X

硅多晶还原炉尾气成分的测定气相色谱法

警示：取样时尾气压力应保持在压力范围内，太大不易操作且不安全，太小容易导致样品无法采集至取样

容器内。

1范围

本文件规定了硅多晶还原炉尾气中各成分的测定方法。

本文件适用于三氯氢硅法生产硅多晶还原炉尾气成分（氢气、氯化氢、二氯二氢硅、三氯氢硅和

四氯化硅）的测定。检测下限为体积分数0.01%。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文

件