椭偏法测量薄膜的厚度和折射率闫课件.pptVIP

近代物理实验椭偏仪测量薄膜厚度和折射率上海师范大学数理学院闫爱民

内容提要一、背景介绍二、实验目的三、实验仪器四、实验原理五、实验内容与步骤六、思考题与讨论题

一、背景介绍1、薄膜的分类：透明介质膜和金属膜。2、薄膜的光学与几何特征参数为n，d。n为薄膜复折射率,n＝N-ik透明介质膜，无吸收(k=0)，其折射率为实数。d为薄膜的厚度。3、常见测定薄膜光学参数的方法：布儒斯特角法，干涉法、称重法、X射线法、电容法、椭偏法等。

椭圆偏振法是利用被测样品表面对椭偏光的反射特性来测量样品的光学常数。是一种先进的测量薄膜纳米级厚度的方法。4、椭偏法测量的优点：精度高，灵敏度高，无破坏性等。在光学、半导体学、生物学、医学等诸多领域已得到广泛应用。二、实验目的ü了解椭偏光法测量原理和实验方法。ü熟悉椭偏仪器的结构和调试方法。ü测量介质薄膜样品的厚度和折射率。

思考题与讨论题1.写出椭偏方程及各参数的物理意义？2.1/4波片的作用是什么？3.入射光为什么为等幅偏振光，实验中如何获得？4.反射光为什么为线偏振光，实验中如何获得？复习思考题：1）简述椭偏法的测量原理，各主要光学部件的作用是什么？2）简述椭偏仪测量薄膜厚度的实验步骤。

三、实验仪器SGC-1型椭圆偏振测厚仪，如图所示。

四、实验原理使一束自然光经起偏器变成线偏振光，再经1/4波片，使它变成等幅椭圆偏振光，入射到待测的膜面上。反射时光的偏振态将发生变化。对于一定的样品，总可以找到起偏方位角P，使反射光由椭圆偏振光变成线偏振光。于是转动检偏器，在其相应的方位角A下得到消光状态。1/4波片起偏器φ1消光?自然光线偏检偏器振光氦氖激光器光电倍增管

l现以普通玻璃表面镀以透明单层介质膜为例作一说明。椭偏光kkkk3012PPs。。sφ1n1n2φ2界面1界面2dφ3n3光在单层介质膜表面的反射与折射

l如图所示，当一束光入射到单层介质膜面上时，在界面1和2上形成多次反射和折射，且各反射光和折射光分别产生多光束干涉。其干涉结果反映了薄膜的光学特性。l根据电磁场的麦克斯韦方程和边界条件及菲涅尔反射系数公式，课本P128：（1）

式中，r、r为界面1、2处反射光p分量的振1p2p幅反射系数，r、r为界面1、2处s分量的振1s2s幅反射系数，2δ系指薄膜表面的相继两束反射光因光程差而引起的位相差，它满足：式中，分别为光在薄膜上、下表面的入射角。在椭偏测量中测量的是R与R之比，即G：ps用tgψ和Δ分表示G的模和幅角，：偏方程ψ和Δ称偏参数

式中，ψ和Δ称为椭偏参数并具有角度量值，是n、n、n、、λ及d的函数；由于n、n、12313和λ、为已知量，只要利用实验测出ψ和Δ，并利用计算机作数值计算，即可得到薄膜折射率n2和厚度d。ψ和Δ的如何量？把R与R复振幅写成模和幅角形式：ps反射前后p,s两分量的振幅衰减比两分量的相移差

为使测量更加简便，在椭偏测量中要求入射光和反射光满足两个条件：（1）入射光为p,s分量的振幅相等的椭偏光，此时：ψ仅与反射光p,s分量的振幅比有关（2）反射光为线偏振光，此时：实验上如何实现？

1/4波片起偏器φ1消光检偏器?自然光线偏振光氦氖激光器光电倍增管u等幅椭偏光的获得将E在波片的快轴f和慢轴l上分解为:0S方向E代表经方位角为p的起偏器0出射的线偏振光的振幅通过1/4波片后，E将比E超前π/2fsE入射光0P方向把这两个分量分别在s轴及p轴上投影并再合成为E和Esp，便得到

1/4波片起偏器φ1消光检偏器?自然光线偏振光氦氖激光器光电倍增管u反射光为线偏振光的检测－消光法检偏器的透光轴t’与合成的反射线偏振光束的电矢量E垂r直时,反射光在检偏器后消光：

五、实验内容与步骤1.首先开启主机源，点亮氦激光器（30分后再量宜）。2.放入待品，定入射角φ（70°），起偏机构臂和偏机构臂，使品表面反射后的激光束好通偏器入光口示窗。3.调整起偏器和检偏器的角度，直至出现两次消光，测出检偏器后消光时起、检偏器方位角(P,A)和11(P,A)；22

4.将两组（P，A）换算，求平均值；5.将（P，A）输入电脑程序界面，求得折射率n和膜厚d.6.重复上述测量步骤，测量多个样品的折射率和膜厚，录入表格。