制造技术及其应用.pptVIP

;微流体力学;生物/医疗

细胞操作

细胞融合

生物分子操作

灵巧弹丸

微型手术

施药

血液分析;美国1987年美国加州大学伯克莱分校研制成功外径为100微米、转子直径为60微米的硅静电微马达，使人们认识到用硅微加工方法制造微机械及集成微机电系统的巨大潜力。;美国的MIT，Berkeley，Stanford，ATT和NSF的15名科学家在80年代末就提出“小机器，大机遇：关于新兴领域----微动力学的报告”的国家建议书，并声称“由于微动力学(微电子机械系统，MicroElectro-MechanicalSystems,MEMS）在美国的紧迫性，我国应在这样的一个新的重要技术领域与其它国家的竞争中走在前面”。;得到美国领导机构重视，连续大力投资。近十年开发出各类微机械、微传感器和微执行器，且微压力传感器、微加速度传感器和微喷已成功地产业化。美国宇航局投资1亿美元着手研制“微型卫星”。;;ADI公司生产的微加速度机MEMS芯片;;;;智能尘埃的概念;日本通产省1991年开始启动一项为期10年的耗资250亿日元的“微型机械(MicroMachine)”大型研究计划，研制两台样机，一台用于医疗，进入人体进行诊断和微型手术。另一台用于工业，对飞机发动机和原子能设备的微小裂纹实施维修；;昆虫上的MEMS;;;德国自1988年开始一个微加工十年计划项目，