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(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN101839706A
(43)申请公布日2010.09.22
(21)申请号CN201010153380.4
(22)申请日2010.04.21
(71)申请人东南大学
地址210009江苏省南京市江宁开发区东南大学路2号
(72)发明人唐洁影袁洁
(74)专利代理机构南京苏高专利商标事务所(普通合伙)
代理人柏尚春
(51)Int.CI
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
一种微悬臂梁接触长度的测量结构
及其方法
(57)摘要
本发明公开了一种微悬臂梁接触长
度的测量结构及其方法,该测量结构包括
衬底和两个尺寸相同的金属悬臂粱,所述
衬底上设有悬臂梁锚区、与测量结构相对
应的用于静电激励的下拉电极、分别对应
于两个悬臂粱的两个衬底接触电极;所述
悬臂粱通过悬臂梁锚区位置对称地并行固
定在衬底上方;所述两个衬底接触电极材
料相同,其中一个衬底接触电极由两条以
上并行排列的窄条电极构成。测量时,在
静电激励下悬臂梁自由端与衬底上的两条
以上的窄条电极相接触时,将使相应的窄
条电极接通,通过测试各窄条电极之间的
连通状况判断悬臂梁与衬底接触的位置,
从而确定悬臂梁的接触长度。本发明提供
的测量结构简单,测量方法容易并且能够
实现在线测量。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
权利要求说明书
1.一种微悬臂梁接触长度的测量结构,其特征在于:所述测量结构包括衬底(1)、两
个尺寸及材料相同的金属悬臂粱(31)和悬臂粱(32);所述衬底(1)上设有悬臂梁锚区
(2)、与测量结构相对应的用于静电激励的下拉电极(4)、对应于悬臂粱(31)的普通衬
底接触电极(5)和对应于悬臂粱(32)的衬底接触电极;所述悬臂粱(31)和悬臂粱(32)
通过悬臂梁锚区(2)位置对称地并行固定在衬底(1)上方;所述对应于悬臂粱(31)的普
通衬底接触电极(5)和对应于悬臂粱(32)的衬底接触电极材料相同;所述对应于悬臂
粱(32)的衬底接触电极由两条以上并行排列的窄条电极构成,所述窄条电极末端连
接有压焊块。
2.一种如权利要求1所述的微悬臂梁接触长度的测量结构的测量方法,其特征在于
所述测量方法如下:
1)在所述悬臂粱(31)、悬臂粱(32)和下拉电极(4)之间施加电压,在静电力的作用下,
悬臂梁(31)和悬臂梁(32)的自由端向下弯曲并和与之相应的普通衬底接触电极(5)和
衬底接触电极接触;
2)当悬臂粱(32)与衬底接触电极的两条以上窄条电极相接触时将使相应的窄条电极
间接通,通过测试各窄条电极间的接通状况,判断悬臂梁(32)与衬底接触电极的接
触位置;
3)根据悬臂梁(32)与衬底接触电极的接触位置,测量、计算悬臂梁(32)与衬底接触
电极的接触长度;
4)悬臂梁(31)与普通衬底接触电极(5)的接触长度和悬臂梁(32)与衬底接触电极的接
触长度相同。
说明书
技术领域
本发明涉及微电子机械系统制造、性能及其可靠性测试的技术领域,尤其涉及一种
通过MEMS(微机械系统)加工技术制造的MEMS微悬臂梁在静电驱动下的接触长
度的测量结构及其方法。
背景技术
可靠性是工业化过程中一个不可缺少的环节。目前,接触特性的研究已经受到越来
越多的关注,它直接关系到很多含有微梁可动结构的MEMS器件的可靠性问题。
以MEMS微悬臂梁为例,在静电激励下微悬臂梁的自由端与衬底接触,随着静电
力的增加,其接触长度随之增加。如果悬臂梁与衬底间的表面作用力大于悬臂梁自
身的回复力,还将导致两者粘连在一起不能分离,引起器件的粘附失效。无论梁粘
附与否,它与衬底的接触长度都是表征接触特性的重要参量之一,能否方便且精确
地测量接触长度将极大地影响接触可靠性问题的研究或接触特
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