三维超分辨共焦阵列扫描显微探测方法及装置.pdf

(19)中华人民共和国国家知识产权局

(12)发明专利说明书

(10)申请公布号CN1632448A

(43)申请公布日2005.06.29

(21)申请号CN200510007218.0

(22)申请日2005.02.04

(71)申请人哈尔滨工业大学

地址150001黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

(72)发明人谭久彬黄向东

(74)专利代理机构北京英特普罗知识产权代理有限公司

代理人齐永红

(51)Int.CI

G01B11/02

G01B11/00

权利要求说明书说明书幅图

(54)发明名称

三维超分辨共焦阵列扫描显微探测

方法及装置

(57)摘要

一种光学阵列共焦超分辨显微三维

探测装置，所述装置包括位于光学系统的

中心光轴上依次排列的点光源，准直透

镜，微透镜阵列及针孔阵列，扩束透镜、

偏振分光镜，1/4波片，二元光瞳滤波器，

物镜，载物台，收集透镜，探测针孔阵列

及面阵CCD。点光源通过准直透镜形成平

行光入射到微透镜阵列上，再经针孔阵列

在扩束透镜焦平面上形成点光源阵列，经

偏振分光镜及1/4波片，形成偏振光，再

经二元光瞳滤波器和物镜照射到被测物表

面。经被测物表面反射，按原光路返回，

反射光经偏振分光镜后，被全部反射到收

集透镜上，经针孔阵列最后到达面阵CCD

上，由面阵CCD对信号进行采集。本发明

还包含一种使用一个探测器探测和测量三

维表面和三维结构的方法。

法律状态

法律状态公告日法律状态信息法律状态

权利要求说明书

1.一种三维超分辨共焦阵列扫描显微探测装置，包括在中心光轴上依次排列的点光

源，准直透镜，微透镜阵列及针孔阵列，扩束透镜、偏振分光镜，1/4波片，显微

物镜，收集透镜，探测针孔阵列及面阵CCD，点光源通过准直透镜形成平行光入

射到微透镜阵列上，再经针孔阵列在扩束透镜焦平面上形成点光源阵列，经偏振分

光镜及1/4波片，形成偏振光，再经显微物镜照射到被测物表面；入射光经被测物

表面反射，按原光路返回，反射光经偏振分光镜后，被全部反射到收集透镜上，经

探测针孔阵列最后到达面阵CCD上，由面阵CCD对信号进行采集；其特征在于：

还包括一个二元光瞳滤波器，所述二元光瞳滤波器放置于1/4波片与显微物镜之间；

所述偏振光经所述二元光瞳滤波器后被调制，调制后的光再经显微物镜照射到被测

物表面。

2.根据权利要求1所述的三维超分辨共焦阵列扫描显微探测装置，其特征在于：所

述的二元光瞳滤波器可以为振幅型、位相型或混合型二元光学器件。

3.根据权利要求1或2所述的三维超分辨共焦阵列扫描显微探测装置，其特征在于：

所述的微透镜阵列是连续浮雕或多台阶微透镜阵列。

4.一种使用一个探测器探测和测量三维表面和三维结构的方法，所述探测器包括光

学探头、载物台、面阵CCD和计算机，光学测头包括点光源装置，准直透镜，微

透镜阵列及针孔阵列，扩束透镜、偏振分光镜，1/4波片，二元光瞳滤波器，物镜，

收集透镜，探测针孔阵列；所述方法包括下列步骤：

利用微透镜阵列产生探测光束阵列，以实现对被测样品的多光束并行探测和测量；

通过偏振分光镜将探测光束转换为偏振光；

利用二元光瞳滤波器对光束阵列各路光束进行调制，改变探测空间的光强分布特性，

以实现三维超分辨测量；

在光轴方向上对被测物进行轴向扫描探测；反射光经物镜、二元光瞳滤波器到达

1/4波片，偏振方向改变90°，经偏振分光镜反射到集光透镜，最后到达面阵CCD

表面；

在计算机中依据轴向光强分布曲线和各横向探测位置，得出被测样品三维表面形貌

的测量结果。

5.根据权利要求4所述的方法，其中，通过计算机仿真得出优化的二元光瞳滤波器

参数，提高共焦阵列显微镜的三维分辨能力。

6.根据权利要求4所述的方法，其中，所述的扫描方式是由光学测头进行主光轴方

向扫描，载物工作台作二维微位移