原创力文档- 1、本文档共36页，可阅读全部内容。
- 2、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
- 3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利说明书
(10)申请公布号CN102337511A
(43)申请公布日2012.02.01
(21)申请号CN201110208183.2
(22)申请日2011.07.20
(71)申请人东京毅力科创株式会社
地址日本东京都
(72)发明人佐佐木芳彦南雅人
(74)专利代理机构北京尚诚知识产权代理有限公司
代理人龙淳
(51)Int.CI
C23C16/04
C23C16/458
C23C16/50
权利要求说明书说明书幅图
(54)发明名称
屏蔽部件、其构成零件以及具有屏
蔽部件的基板载置台
(57)摘要
本发明提供一种即使发生热膨胀也
与下部电极之间不产生间隙，并能够防止
下部电极的异常放电以及腐蚀的产生的屏
蔽部件，以及其构成零件和具有屏蔽部件
的基板载置台。本发明的屏蔽部件将包括
沿下部电极的矩形的载置面的一边配置的
绝缘性的长尺寸状物件并具有在长度方向
的一端设置的固定用螺钉孔和在长尺寸状
物件的长度方向离开设置的支承用螺钉孔
的构成零件，以各环构成零件的长度方向
的一端的端面与相邻的其他的环构成零件
的长度方向的一端的侧面抵接，另一端的
侧面与相邻的其他的环构成零件的不同的
另外的环构成零件的一端的侧面抵接的方
式进行组合。
法律状态
法律状态公告日法律状态信息法律状态
权利要求说明书
1.一种屏蔽部件的构成零件，其在对矩形的基板实施等离子体处理
的基板处理装置的处理室内以包围载置所述基板的矩形的载置面的周
围的方式设置，所述屏蔽部件的构成零件的特征在于：
包括沿所述矩形的载置面的一边配置的绝缘性的长尺寸状物件，
具有设置在该长尺寸状物件的长度方向的一端的固定部；和在所
述长尺寸状物件的长度方向与该固定部离开设置的至少一个引导部。
2.如权利要求1所述的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：
一端被作为所述固定部的固定用的螺钉孔固定于所述载置台的基
材，另一端通过作为所述至少一个引导部的支承用的螺钉孔可自由移
位地被支承，以所述被固定的一端为起点沿所述长尺寸状物件的长度
方向能够进行热膨胀或热收缩。
3.如权利要求2所述的屏蔽部件的构成零件，其特征在于：
所述固定用的螺钉孔，在具有该固定用的螺钉孔的平面上为圆形，
所述支承用的螺钉孔，在具有该支承用的螺钉孔的平面上，为在所述
长尺寸状物件的长度方向上较长的椭圆形或两端为半圆的矩形。
4.如权利要求1至3中任一项所述的屏蔽部件的构成零件，其特
征在于：
所述矩形的载置面的角部分别被实施圆弧面的倒角处理，在所述
长尺寸状物件的一端的侧面设置有突起部，所述突起部具有与所述倒
角过的所述载置面的角部抵接的圆弧面。
5.如权利要求1至3中任一项所述的屏蔽部件的构成零件，其特
征在于：
所述矩形的载置面的角部分别被实施平面的倒角处理，在所述长
尺寸状物件的一端的侧面设置有突起部，所述突起部具有与所述倒角
过的所述载置面的角部抵接的平面。
6.如权利要求1至3中任一项所述的屏蔽部件的构成零件，其特
征在于：
所述长尺寸状物件的与所述矩形的载置面相对的侧面是没有突起
部的平面。
7.如权利要求1至3中任一项所述的屏蔽部件的构成零件，其特
征在于：
所述长尺寸状物件具有突出部，用于在与其他的长尺寸状物件组
合形成屏蔽部件时形成台阶结构的嵌合部。
8.一种屏蔽部件，其在对矩形的基板实施等离子体处理的基板
文档评论（0）