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PZT薄膜的制备研究现.docx

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    PZT薄膜的制备争论现状

    xxx

    〔大连理工大学大连116024〕

    摘要:文章综述了PZT薄膜的主要制备方法，其中包括溶胶-凝胶法、射频磁控溅射法和脉冲激光沉积法的制备,并争论了不同工艺参数对于PZT薄膜的构造和性能的影响。

    关键词:PZT薄膜;制备方法

    ResearchStatusonFabricationofPZTThinFilms

    LIShiyun

    〔DalianUniversityofTechnologyDalian116024〕

    Abstract:LeadPZTfilmsforitsexcellentferroelectrica

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