YS_T 28-2024《硅片包装和标志》.pdfVIP

ICS29.045

CCSH80

YS

中华人民共和国有色金属行业标准

YS/T28—202X

代替YS/T28-2015

硅片包装和标志

Packageandlabelingforsiliconwafers

（报批稿）

202X-XX-XX发布202X-XX-XX实施

中华人民共和国工业和信息化部发布

YS/T28—202X

硅片包装和标志

1范围

本文件规定了硅片的包装、标志、运输和贮存。

本文件适用于硅单晶抛光片、硅外延片、SOI硅片、硅单晶腐蚀片、硅单晶研磨片(简称硅研磨片)、

太阳能电池用硅片等的包装、标志、运输和贮存。其他晶片（如碳化硅抛光片等）的包装、标志、运输

和贮存可参照使用。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。

其中，

注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（

包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB/T12964硅单晶抛光片

GB/T12965硅单晶切割片和研磨片

GB/T14139硅外延片

GB/T14264半导体材料术语

GB/T25915.1—2021洁净室及相关受控环境第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级

GB/T26071太阳能电池用硅单晶片

GB/T29055太阳能电池用多晶硅片

GB/T29506300mm硅单晶抛光片

GB/T29508300mm硅单晶切割片和磨削片

GB/T35310200mm硅外延片

YS/T1167硅单晶腐蚀片

3术语和定义

GB/T14264界定的以及下列术语和定义适用于本文件。

3.1

洁净包装cleanpackage

用专用的运输片盒对抛光片、外延片、SOI硅片等晶片进行包装，使其在运输、贮存过程中避免颗

粒、金属及有机物对片盒中晶片的沾污。

3.2

片盒waferbox

由盒底和盒盖组成的带有装载晶片片篮的封闭容器，用于贮存和运输晶片。

3.3

结合胶带seamtape

用于密封片盒的盒底和盒盖之间接口的洁净胶带。

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YS/T28—202X

3.4

PP圆盒polypropyleneroundbox

由一个聚丙烯（PP）圆筒形盒底和盒盖组成的用于贮存和运输硅片的封闭容器。

3.5

内包装袋innerbag

封装片盒的内层包装袋，通常采用洁净的塑料袋。

3.6

外包装袋outerbag

将已封装内包装袋的片盒再次封装时用的外层包装袋，通常采用防潮、防静电的铝箔袋。

3.7

时间雾timedependenthaze,TDH

经洁净封装后的硅抛光