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八、各工位检查项目检验项目仪器产品标准/相关内容检验方式责任人检验数量检验频度预热检查目视①每炉清洗，无硅粉残留。

③预热炉进出炉时间点检。

④工件架中的刻线规格是否和品质追踪上一致

⑤钢化玻璃门是否有进炉一起预热。

⑥预热出炉后到沉积的时间不超过10分钟。自检作业员一次每炉巡检IPQC一次4h沉积检查目视①沉积室腔体内壁无明显硅粉、颗粒。

②设备电极无氧化、发黑。

③特气管、地线正常连接。

④程序选择正确。

⑤辉光正常，反射功率小于10w。

⑥沉积压力与气体流量正常稳定。⑦沉积温度在215℃～250℃。自检作业员一次每炉巡检IPQC一次4h*八、各工位检查项目检验项目仪器产品标准/相关内容检验方式责任人检验数量检验频度冷却、卸片目视、红外测温仪①工件架自然冷却，出炉时不允许立即靠近空调或者风扇。

②卸片温度低于55℃。

③条码贴的位置是否正确，字迹清晰并可扫描到计算机，且编号和片一一对应。确认的不良品贴上正确的不良项目条码并在品质追踪单上需记录清楚。

④注意芯片受光面是否有刮伤，记录刮伤电极编号。⑤不良品需隔离放置标识清楚。⑥检查卸片作业方式与Sop文件一致性。自检作业员一次每炉巡检IPQC一次4h*九、异常处理现象影响判断处理工件架硅粉或其他粉尘过多1:影响激光二刻划2:影响沉积效果1：用手电筒侧面照射电池芯片半成品的膜面，看表面是否能观察到非常多颗粒状的硅粉1：对工件架做清洁保养真空室预抽异常无法正常执行工艺1：开启机械泵6秒内腔室真空压力仍然没有下降趋势判断为真空室异常2：沉积室前后门伴有漏气的声音（低真空时）。3：分子泵抽气20分后保压，若半小时内上升至5Pa以上，确定为沉积室密封性异常。1:检查门的情况，若用外力挤压使其合上，沉积完后通知设备调节门轴。2:用酒精擦拭密封圈周围再次尝试。3:数次尝试无效后，通知设备维修.*广东汉能光伏有限公司ConfidentialGuangdongHanergySolarCo.,Ltd.内部资料，注意保密广东汉能光伏有限公司Confidential广东汉能光伏有限公司内部资料，注意保密广东汉能光伏有限公司GuangdongHanergySolarCo.,LtdPECVD培训教程

*目录一、PECVD简介二、PECVD操作工位介绍三、PECVD装片四、PECVD预热五、PECVD沉积六、PECVD卸片七、工件架清洁八、各工位检查项目九、异常处理十、PECVD所用气体及性质*一、PECVD简介PECVD全称为PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition，即等离子增强化学气相沉积。PECVD在非晶硅薄膜中的用途：目前常用的衬底为导电玻璃（TCO），通过在TCO导电玻璃的导电层上沉积PIN的非晶硅薄膜初步形成一大块电池芯片。PECVD工作原理：在真空状态下，加在电极板上的射频电场，使反应室气体发生辉光放电，在辉光发电区域产生大量的电子。这些电子在电场的作用下获得充足的能量，其本身温度很高，它与气体分子相碰撞，使气体分子活化。它们吸附在衬底上，并发生化学反应生成介质膜，副产物从衬底上解吸，随主气流由真空泵抽走。*二、PECVD操作工位介绍PECVD段有四个工位：1、二次清洗下料即为PECVD段上片，将二次清洗后的TCO玻璃装入工件架，为预热做准备。2、数控操作（包括预热和沉积）（1）预热：将装在工件架上的TCO玻璃加热到215℃温度，达到PECVD沉积的温度需求。（2）沉积：在预热好的TCO玻璃上沉积上所需结构类型的电池。3、卸片沉积好的TCO玻璃出炉后，冷却到55℃以下，将其从工件架上卸下，放到芯片周转车上。为二次激光上料做准备。4、工件架擦拭/清洗（1）擦拭：卸片完后的工件架，在上片前要擦拭清洁。（2）清洗：在擦拭的基础上，使用1