原创力文档- 1、本文档共12页，其中可免费阅读4页，需付费120金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
查看更多
-
-1-
MEMS深硅刻蚀工艺
争论报告
学 院：机械与材料工程学院班 级：机械14-5
姓 名：
学 号：指导教师：
名目
1、 背景 3
2、 ICP干法刻蚀原理 6
3、 ICP刻蚀硅试验 8
、光刻工艺
、ICP刻蚀硅工艺
背景
一、什么是MEMS
微机电系统〔MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem〕，也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置，其内部构造一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。主要由传感器、动作器〔执行器〕和微能源三大局部组成。MEMS是在微电子技术〔半导体制造技术
专注地铁、铁路、市政领域安全管理资料的定制、修改及润色，本人已有7年专业领域工作经验，可承接安全方案、安全培训、安全交底、贯标外审、公路一级达标审核及安全生产许可证延期资料编制等工作，欢迎大家咨询~
文档评论（0）