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扫描电子显微镜的原理及应用

0929101班1092910107张伟杰

扫描电子显微镜的制造是依据电子与物质的相互作用。当一束高能的人射电子轰击

物质表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、

背散射电子、透射电子，以及在可见、紫外、红外线区域产生的电磁辐射。同时，也

可产生电子-空穴对、晶格振动(声子)、电子振荡(等离子体)。原则上讲，利用电子

和物质的相互作用，可以获取被测样品本身的各种物理、化学性质的信息，如形貌、

组成、晶体结构、电子结构和内部电场或磁场等等。扫描电子显微镜正是根据上述不

同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，使选择检测得以实现。如对二次电子、

背散射电子的采集，可得到有关物质微观形貌的信息;对x射线的采集，可得到物质

化学成分的信息。正因如此，根据不同需求，可制造出功能配置不同的扫描电子显微

镜。

扫描电子显微镜的原理：

SEM的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次

级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探

测体收集，并在那里被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转