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Silvaco中文学习手册.docx

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    §4 工艺及器件仿真工具SILVACO-TCAD

    本章将向读者介绍如何使用SILVACO公司得TCAD工具ATHENA来进展工艺仿真以及ATLAS来进展器件仿真。假定读者已经生疏了硅器件及电路得制造工艺以及MOSFET与BJT得根本概念。

    4、1使用ATHENA得NMOS工艺仿真

    4、1、1概述

    本节介绍用ATHENA创立一个典型得MOSFET输入文件所需得根本操作。包括:a、创立一个好得仿真网格

    b、演示淀积操作

    c、演示几何刻蚀操作

    d、氧化、集中、退火以及离子注入

    e、构造操作

    f、保存与加载构造信息

    4、1、2创立一个初始构造

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