IC制造中的沾污控制.docx

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第四章IC制造中的沾污掌握

一个硅片外表具有多个芯片，每个芯片有差不多数以百万计的器件和互连线路，它们对沾污都格外敏感。为使芯片上的器件功能正常，避开硅片制造中的沾污是确定必要的。

为了掌握制造过程中不能承受的沾污，半导体产业开发了净化间。净化间本质上是一个净化过的空间，它以超净空气把芯片制造与外界的沾污环境隔离开来，包括化学品、人员和常规的工作环境。

沾污的类型

沾污是指半导体制造过程中引入半导体硅片的任何危害芯片成品率及电学性能的不期望有的物质。沾污常常导致有缺陷的芯片，致命缺陷是导致硅片上的芯片无法通过电学测试的缘由。据估量80%的芯片电学失效是由沾污带来的缺陷引起的。

净化间沾污分