AZO透明导电薄膜的特性制备与应用.docx

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AZO透亮导电薄膜的特性、制备与应用Ξ

范志

(河北工业大学应用物理系,天津,300130

2023年7月27日收到摘 要 综述了AZO透亮导电薄膜的构造特点,冶金学、电学和光学的特

性,薄膜争论、应用和开觉察状,认为AZO薄膜具有较好的开发前景。关键词 AZO薄膜 特性 制备 应用

中图分类号:O484文献标识码:A

文章编号(20230420255205

1 引 言

。在氧化锡(TO,尽管提高薄膜透光率“极限”挑战的目标,国内外的刊物上仍不断有论文发表,。接

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