变极距式电容传感器的机理.pptxVIP

《传感器与检测技术》

项目四电容式传感器

主讲人：牛亚莉

陕西交通职业技术学院

变极距式电容传感器的机理

一、变极距型电容传感器的灵敏度

一、变极距型电容传感器的灵敏度

灵敏度随极板间距的减小而增大

变极距式电容传感器的机理

一、变极距型电容传感器的灵敏度

由以上分析可知：变极距型电容式传感器只有在Δd/d0很小时，才有近似的线性输出。

C

d

d0

Δd

Δd

ΔC1

ΔC2

{

{

ΔC1ΔC2

如图，极距变化相同值±△d所对应的电容变化量不同

非线性随极板间距的减小而增大

二、变极距型电容传感器的差动形式

变极距式电容传感器的机理

二、变极距型电容传感器的差动形式

可见，电容式传感器做成差动式结构后，非线性误差大大降低了，而灵敏度比单极距电容传感器提高了一倍。与此同时，差动式电容传感器还能减小静电引力给测量带来的影响，并有效的改善由于环境影响所造成的误差。

变极距式电容传感器的机理

三、注意的问题

d0较小时，灵敏度较高，但电容易击穿，因此极板间采用高介电常数的材料（云母、塑料膜等）做介质。

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