材料课件3-第三讲-薄膜材料物理-第二章薄膜的力学性质.pptxVIP

第三讲薄膜材料物理本讲介绍薄膜材料物理，重点介绍薄膜的力学性质。ffbyfsadswefadsgsa

第二章薄膜的力学性质薄膜材料的力学性质是其在各种应用中发挥作用的关键因素。薄膜的力学性质包括应力、应变、弹性模量、硬度、强度等。本章将深入探讨薄膜的力学性质及其对薄膜材料性能的影响。

2.1薄膜的应力和应变应力和应变是描述材料在受力变形时的两个重要参数。应力是指作用在材料截面积上的力，而应变是指材料在受力变形后的形变大小。薄膜材料由于其尺寸小、结构特殊，其应力和应变与块状材料相比有很大不同。1应力作用在材料截面积上的力2应变材料在受力变形后的形变大小3薄膜力学薄膜材料的应力和应变薄膜材料的应力和应变与其制备工艺、薄膜的结构和性质、以及外部环境条件密切相关。

2.1.1薄膜的应力1应力的定义应力是指作用在物体上的外力引起的物体内部的抵抗变形的能力。单位是帕斯卡(Pa)。2应力类型薄膜应力可以分为两种类型：拉伸应力(tensilestress)和压缩应力(compressivestress)。3应力的影响薄膜的应力会影响其机械性能、光学性能和电学性能，例如膜的脆性、光学透射率、电阻率等。

2.1.2薄膜的应变应变的定义应变是指材料在外力作用下发生的形变程度。薄膜的应变通常用应变率表示，它是材料长度变化与原长度的比值。应变的类型薄膜的应变可以分为弹性应变和塑性应变。弹性应变是指材料在外力去除后能够恢复到原状的形变。塑性应变是指材料在外力去除后无法恢复到原状的形变。应变的影响因素薄膜的应变受多种因素影响，包括材料的性质、外力的大小、加载方式以及温度等。

2.2薄膜的力学性能薄膜的力学性能是指薄膜在外力作用下抵抗变形和破坏的能力。薄膜的力学性能与其应用密切相关，例如，在微电子器件中，薄膜的强度和硬度决定了器件的可靠性；在光学器件中，薄膜的弹性模量决定了器件的稳定性。薄膜的力学性能与薄膜的材料、结构、制备工艺等因素有关。1弹性模量薄膜抵抗弹性形变的能力。2硬度薄膜抵抗局部压痕的能力。3抗拉强度薄膜抵抗拉伸断裂的能力。4抗压强度薄膜抵抗压缩破坏的能力。薄膜的力学性能测试方法有很多，例如纳米压痕测试、拉伸测试、弯曲测试等。通过这些测试可以得到薄膜的弹性模量、硬度、抗拉强度、抗压强度等力学参数，从而评估薄膜的力学性能。

2.2.1弹性模量定义弹性模量是指材料在弹性变形范围内抵抗形变的能力，反映了材料的刚度。测试方法常见的测试方法包括纳米压痕法、微悬臂梁法和弯曲法，用于测量薄膜的弹性模量。影响因素弹性模量受薄膜的成分、结构、晶粒尺寸、沉积工艺等因素影响。

2.2.2硬度薄膜的硬度是指材料抵抗局部变形的能力。1压痕法利用金刚石压头压入薄膜表面，通过测量压痕的尺寸和深度来计算硬度。2划痕法利用锋利的针尖划过薄膜表面，通过测量划痕的宽度和深度来计算硬度。3纳米压痕法利用纳米压头压入薄膜表面，通过测量压痕的尺寸和深度来计算硬度。硬度测试方法根据压头形状和加载方式不同而有所差异。硬度是薄膜的重要性能指标，与薄膜的耐磨性、耐刮擦性、抗压性等性能密切相关。

2.2.3抗拉强度1定义抗拉强度是指材料在断裂前所能承受的最大拉伸应力。它反映了材料抵抗拉伸形变的能力。2测试方法通常采用万能试验机进行测试。将试样夹紧，施加拉伸力，直至试样断裂，记录断裂时的力值和断裂面积，计算得出抗拉强度。3影响因素材料的成分、结构、温度、应变速率等因素都会影响抗拉强度。例如，晶粒尺寸越小，抗拉强度越高。

2.2.4抗压强度1定义材料在压缩负荷作用下抵抗破坏的能力2测试方法使用压痕仪进行测量3影响因素薄膜厚度、材质、沉积工艺抗压强度是薄膜材料的重要力学性能指标之一，反映了薄膜材料在受到压缩应力时的抵抗能力。抗压强度越高，薄膜材料抵抗变形和破坏的能力越强。

2.3薄膜的内应力内应力是指薄膜材料内部存在的应力，它是影响薄膜性能的重要因素之一。1内应力的产生薄膜生长过程中的热膨胀系数差异、薄膜材料内部的缺陷等因素都可能导致内应力的产生。2内应力的影响内应力会影响薄膜的机械强度、光学性能、电学性能等。3内应力的控制控制薄膜生长的温度、速率、气氛等参数可以有效地控制内应力。内应力是薄膜材料内部的应力状态，会影响薄膜的稳定性、机械性能和光电性能，在薄膜应用中需要重视其控制和测量。

2.3.1内应力的产生机理热应力薄膜材料的热膨胀系数与基底材料不同，在温度变化时会产生热应力。生长应力薄膜生长过程中，原子在基底表面沉积排列，形成不均匀的晶格结构，导致生长应力。相变应力薄膜材料在不同的温度或压力下可能发生相变，导致晶格结构变化，从而产生相变应力。点缺陷应力薄膜材料中存在点缺陷，如空位和间隙原子，会引起晶格畸变，产生点缺陷应力。表面应力薄膜表面存在表面能，会产生