【英语版】国际标准 ISO/TR 14644-21:2023 EN 洁净室及相关受控环境 第21部分：空气传播颗粒物采样技术 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 21: Airborne particle sampling techniques.pdf

ISO/TR14644-21:2023EN《洁净室及相关受控环境——空气粒子采样技术》是国际标准化组织环境管理技术委员会（ISO/TC207）发布的有关洁净室及相关受控环境的空气粒子标准技术报告的第21部分。这部分内容详细描述了用于测量空气颗粒物的技术和过程，旨在提供用于验证和保证洁净室环境性能的工具和准则。洁净室是一种广泛应用于微电子、生物医药、精密制造等领域的高标准无尘环境。空气中的颗粒物是洁净室环境监测的重要指标之一，因为它们可能对产品质量、生产效率和人员健康产生影响。

在洁净室采样过程中，通常使用各种类型的颗粒物计数器来测量空气中的各种尺寸的颗粒物数量。根据颗粒物的大小和性质，可以选择不同的采样方法和仪器，如沉降法、撞击法、主动捕获法和被动捕获法等。采样位置和时间也是影响测量结果的重要因素。为了获得准确的数据，需要遵循一系列采样技术和质量控制措施，以确保结果的可靠性和可比性。

ISO/TR14644-21:2023EN标准提供了各种空气粒子采样技术的详细指南和实例，包括采样方案的制定、仪器选择、采样位置和时间、数据分析和报告等。它还强调了采样过程中的安全和卫生问题，以及遵守相关法律法规的重要性。通过遵循该标准，洁净室制造商、运营和维护人员可以确保他们的环境符合规定的洁净度标准，并确保产品质量和员工健康的安全。