(高清版)B-T 25915.13-2022 洁净室及相关受控环境 第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁.pdfVIP

ICS13.040.35

CCSC70

中华人民共和国国家标准

GB/T25915.13—2022/ISO14644-13:2017

洁净室及相关受控环境

第13部分：达到粒子和化学洁净度

要求的表面清洁

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part13:Cleaningof

surfacestoachievedefinedlevelsofcleanlinessintermsofparticleand

chemicalclassifications

(ISO14644-13:2017,IDT)

2022-12-30发布2023-07-01实施

国家市场监督管理总局

国家标准化管理委员会发布

GB/T25915.13—2022/ISO14644-13:2017

目次

前言I

引言Ⅱ

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义2

4一般方法3

5对象描述4

6洁净度要求5

7初始污染水平的测定5

8其他要求6

9清洁方法的选择6

10材料相容性检查7

11清洁验证7

12测量方法11

13记录12

附录A(资料性)清洁要素13

附录B(资料性)清洁方法14

附录C(资料性)材料与清洁剂的相容性20

附录D(资料性)洁净度测量22

参考文献26

GB/T25915.13—2022/ISO14644-13:2017

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件是GB/T25915《洁净室及相关受控环境》的第13部分。GB/T25915已经发布了以下

部分：

——第1部分：按粒子浓度划分空气洁净度等级；

——第2部分：洁净室空气粒子浓度的监测；

——第3部分：检测方法；

——第4部分：设计、建造、启动；

——第5部分：运行；

——第6部分：词汇；

——第7部分：隔离装置(洁净风罩、手套箱、隔离器、微环境);

——第8部分：按化学物浓度划分空气洁净度(ACC)等级；

——第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级；

——第10部分：按化学物浓度划分表面洁净度等级；

——第12部分：监测空气中纳米粒子浓度的技术要求；

—第13部分：达到粒子和化学洁净度要求的表面清洁；

——第14部分：按粒子浓度评估设备适用性；

——第15部分：按气态化学物浓度评定设备及材料的适用性。

本文件等同采用ISO14644-13:2017《洁净室及相关受控环境第13部分：达到粒子和化学洁净度

要求的表面清洁》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动：

——更正了4.2中的步骤号错误，将“应从步骤1开始检查清洁方法与材料的相容性(步骤6)。最

后(步骤7)应进行方法验证”修改为“应从步骤1开始检查清洁方法与材料的相容性(步骤6、

7)。最后(步骤8)应进行方法验证。”

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。