【英/法语版】国际标准 IEC 62047-6:2009 EN-FR Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 6: Axial fatigue testing methods of thin film materials 半导体器件-微机电机械装置-第6部分：薄膜材料的轴向疲劳测试方法.pdf

IEC62047-6:2009EN-FR是指国际电工委员会（IEC）制定的电子元件标准第6部分：微机电系统（MEMS）元件的第6部分：薄膜材料轴向疲劳测试方法。

IEC62047标准是一套关于半导体设备的国际标准，涵盖了各种类型的半导体设备，包括微机电系统元件。该标准规定了这些元件的设计、制造、测试和质量保证等方面的要求。

IEC62047-6标准专门针对薄膜材料进行了测试方法的详细规定。这些测试方法主要关注薄膜材料的疲劳性能，特别是在轴向方向上的疲劳性能。轴向疲劳是指材料在受到轴向应力时，逐渐耗尽其弹性能并最终导致断裂的过程。

具体来说，IEC62047-6:2009EN-FR标准规定了测试薄膜材料轴向疲劳的各种方法，包括但不限于测试条件、样品制备、测试程序、结果分析和质量保证等方面的要求。这些测试方法旨在评估薄膜材料的耐久性和可靠性，以确保它们在各种应用中能够保持稳定和可靠的性能。

IEC62047-6:2009EN-FR标准是微机电系统领域中薄膜材料测试的重要依据，它提供了详细的测试方法，以确保薄膜材料在各种应用中的性能和可靠性。