第一章-等离子体概述(共50张课件).pptxVIP

第1.1节什么是等离子体;两个概念：离解和电离;电离气体是一种常见的等离子体;等离子体的概念;维基百科;;第1.1节什么是等离子体;宇宙中90％物质处于等离子体态;宇宙中90％物质处于等离子体态;;等离子体的分类;定义：电离度β=ne/(ne+na)

分母为电离前分子的密度

β=100%完全电离等离子体

β≥1%强电离等离子体

β1%弱电离等离子体

3.根据三者温度关系分

等离子体包含两到三种不同组成粒子：自由电子，带正电的离子和未电离的原子。这使得我们针对不同的组分定义不同的温度：电子温度和离子温度。轻度电离的等离子体，离子温度一般远低于电子温度，称之为“低温等离子体”。高度电离的等离子体，离子温度和电子温度都很高，称为“高温等离子体”。

;;注意：

热等离子体指在接近大气压强情况下，电子、离子、中性粒子通过剧烈碰撞达到热平衡状态，又称近局域热力学平衡等离子体

冷等离子体指在数百帕的低气压下由于碰撞很少达不到热平衡状态，因此又称非平衡等离子体

;等离子体物理学科发展简史;等离子体物理研究领域;等离子体与我们所熟悉的固液气体存在明显差别。

HowFusionEnergyisProduced

人工等离子体：日光灯、霓虹灯、电火花、电弧等

等离子体：电子(ne)、正离子(离子ni)、中性粒子（分子、原子、原子团na）,

Tonks)首先引入等离子体（Plasma）这个名称。

特点是焊缝平整，可以再加工,没有氧化物杂质,焊接速度快。

人类的生存伴随着水，水存在的环境是地球文明得以进化、发展的的热力学环境，这种环境远离等离子体物态普遍存在的状态。

干法刻蚀化学方程式：

纳米尺度上

波纹状表面

PECVD(PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition)--等离子体增强化学气相沉积法

典型的工业应用：等离子体刻蚀、镀膜、表面改性、喷涂、烧结、冶炼、加热、有害物处理

1～4电子伏，电流为1～100安及以上。

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用等离子体熔化快速固化法可开发硬的高熔点粉末，如碳化钨-钴、Mo-Co、Mo-Ti-Zr-C等粉末。

1985年建成，10路

用等离子体沉积快速固化法可将特种材料粉末喷入热等离子体中熔化，并喷涂到基体（部件）上???使之迅速冷却、固化，形成接近网状结构的表层，这可大大提高喷涂质量

轻度电离的等离子体，离子温度一般远低于电子温度，称之为“低温等离子体”。

由大量的带电粒子组成的非束缚态的宏观体系

A，20,941,2002）

这类等离子体处于热平衡态，电弧、等离子体炬属于这一类。;1.温度高，粒子动能大

2.作为带电粒子的集合体，具有类似金属的导电性能。有时等离子体可看作导电流体

3.化学性质活泼，容易发生化学反应

例如：将甲烷和氢气在密闭容器里混合并使之放点，若温度适宜，在器壁上会形成金钢石薄膜

4.发光特性，可用作光源

例如：钠、水银灯放点发光的照明灯;为什么有这些特性的解释;第1.3节等离子体应用;磁约束?由于热核聚变反应的等离子体温度极高，常规的容器都无法耐受，并将造成很大的热能损失。利用强磁场把高温等离子体约束在一定空间内，使之与容器壁隔开，维持其高温和高密度状态。属于磁约束方法的聚变反应装置有托卡马克（见图）、磁镜、仿星器等，;;热等离子体应用?热等离子体的温度为0.1～4电子伏，电流为1～100安及以上。这类等离子体处于热平衡态，电弧、等离子体炬属于这一类。主要用于难熔金属冶炼、机加工等。

;。①等离子体冶炼：用于冶炼用普通方法难于冶炼的材料，例如高熔点的锆(Zr)、钛(Ti)、钽(Ta)、铌(Nb)、钒(V)、钨(W)等金属；还用于简化工艺过程，例如直接从ZrCl4、MoS2、Ta2O5和TiCl4中分别获得Zr、Mo、Ta和Ti；用等离子体熔化快速固化法可开发硬的高熔点粉末，如碳化钨-钴、Mo-Co、Mo-Ti-Zr-C等粉末。等离子体冶炼的优点是产品成分及微结构的一致性好，可免除容器材料的污染。;②等离子体喷涂：许多设备的部件应能耐磨、耐腐蚀、抗高温，为此需要在其表面喷涂一层具有特殊性能的材料。用等离子体沉积快速固化法可将特种材料粉末喷入热等离子体中熔化，并喷涂到基体（部件）上，使之迅速冷却、固化，形成接近网状结构的表层，这可大大提高喷涂质量;③等离子体焊接：可用以焊接钢、合金钢；铝、铜、钛等及其合金。特点是焊缝平整，可以再加工,没有氧化物杂质,焊接速度快。用于切割钢、铝及其合金，切割厚度大。

;冷等离子体应用?冷等离子体的电子温度比离子温度高，分别为10电子伏及以下和室温，主要用于化学合成、材料表面改性和大规模集成