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ICS13.040.40
CCSZ05
团体标准
T/CIECCPA007—2024
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半导体工业氮氧化物排放要求
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SemiconductorIndustryNitrogenOxideEmissionRequirements
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2024–03–04发布2024–03–08实施
中国工业节能与清洁生产协会发布
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T/CIECCPA007—2024
目次
前言II
1范围1
2规范性引用文件1
3术语和定义1
4氮氧化物排放限值2
5氮氧化物排放限值要求适用范围2
6氮氧化物检测要求3
附录A单一排气筒的排放速率计算方法4
附录B氮氧化物推荐处理方案5
附录C现行地方氮氧化物排放限值与监测标准7
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图B.1氧化还原吸收法流程图5
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图B.2碱液吸收法流程图6
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表1氮氧化物排放限值2
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