干涉检测的动态范围研究.docVIP

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2024-07-27 发布于湖南
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干涉检测的动态范围研究.doc

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该文介绍了一种简单的非球面表面检测方法——无像差点法，该方法只需使用数字探测器就可以检测到干涉图中最密集的fringes，无需通过任何专门的软件进行处理本文将详细讨论了无像差点法的基本原理和应用场景，并阐述了其在不同类型的干涉检测中的优势第二章有限光束干涉检测的动态范围通过无像差点法检测到的干涉图条纹最密处并不一定都在边缘，也可能在干涉图的其他位置但是，这种检测方法可以有效地拓宽干涉图的动态范围，对于某些特定场景可能更为适用第三章全口径二次曲面直接干涉检测的动态范围的扩

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题

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干涉检测的动态范围研究

摘要

现如今，非球面的卓越的性能使得非球面的大范围应用成为一种不可逆的趋势。因此，非球面的生产和检测的研究和发展成为了当下最迫切需要解决的问题。现在常用的方法主要有零位检测和费零位检测。本论文探讨了一种简单快捷，成本低廉的检测方法。利用数字探测器直接检测干涉图条纹最密处，如果数字探测器能够分辨，那么这个方法可行。条纹最密处也不一定是在边缘，也有可能会在干涉图的其他位置，检测的动态范围又可以得到扩大。

关键词：非球面非零位干涉检测球差动态范围

ABSTRACT

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