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KMPS微蚀铜工艺使用介绍

一、KMPS简介

过硫酸氢钾复合物是一种无机酸性氧化剂，又过硫酸氢钾复合盐、过一

硫酸氢钾三合盐过氧化单硫酸钾盐，英文名称Oxone,potassium

monopersulfatecompound,potassiummonopersulfatetriplesaltor

potassiumperoxymonopersulfate。简称：PMPS或KMPS，是常用功能化学品

Oxone、Caroat、ZA200/100、Basolan2448的基本有效组分。

1.1性质

呈可以自由流动的白色粉状固体，易溶于水,在20℃（68OF）时，水溶解

度大于250g/L。堆积密度1.1-1.2。

1.2化学特性

KMPS分子式：2KHSO•KHSO•KSO

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结构式：

O

KOSOOH

O

Fig1KMPS有效成分结构式

分子量：614.7

CASNo.70693-62-8

过硫酸氢钾复合盐的活性物质为过硫酸氢钾KHSO5（或称之为过一硫酸氢

钾）。具有非常强大而有效的非氯氧化能力，使用和处理过程符合安全和环保要

求，因而被广泛的应用于工业生产和消费领域。通常状态下比较稳定，当温度高

于65℃时易发生分解反应。比较活泼，易于参与多种化学反应，可作为氧化剂、

漂白剂、催化剂、剂、蚀刻剂等。

一般市售过硫酸氢钾中有效成分KHSO5的含量42-46wt%，对应活性氧含量在

4.5-4.9wt%，水中的溶解度在25g左右。

1.3用于铜微蚀刻的有点

KMPS与HO-HSO、过硫酸钠（SPS）等常规微蚀刻体系相比，具有明显的优

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势：

1

（1）微蚀后金属表面外观光泽好，蚀刻面更加均匀一致，表面结合强度更好；

（2）蚀刻过程更加均匀、温和，速度性好，可减少人工操作；

（3）同样的蚀铜量，KMPS消耗量比SPS要少，因为KMPS的氧化能力更强；

（4）微蚀中溶液蚀刻速度变化幅度只有SPS的1/3，可有效降低废品率；

（5能够自如应用于更低的蚀刻速率和更小的蚀铜量，例如，应用于多层板、挠性

板效果更佳；

（6）表面易于，避免了二次反应，并且，废水容易处理。

（7）活性氧可以实现测量，更容易控制；溶液活性氧可以迅速测量，而不

会像SPS/PPS那样需要滞后30min。

二、KMPS使用方法