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以壳聚糖为栅介质的低压氧化物薄膜晶体管的开题报告

一、研究背景和意义

随着电子技术的不断发展，晶体管已成为现代电子器件中不可或缺的一部分。作为现代电子技术的基础元件之一，晶体管在各个领域的应用十分广泛，比如计算机、通讯、军事、医疗等。其中，低压氧化物薄膜晶体管作为一种重要的晶体管，对于半导体设备的制备和性能提升都具有重要的作用。因此，其研究具有重要的理论意义和实际应用价值。

壳聚糖是一种天然的多糖化合物，其具有天然可降解、生物相容性好等特点，在生物医学领域得到了广泛的应用。而以壳聚糖为栅介质的低压氧化物薄膜晶体管，不仅具有常规氧化物薄膜晶体管的优点，还具有壳聚糖的生物医学特性，因此其在生物医学领域的应用前景十分广阔。例如，在生物传感器、生物识别、医学影像等方面拥有广阔的应用前景。

二、研究内容及研究方法

本次研究的主要研究内容为以壳聚糖为栅介质的低压氧化物薄膜晶体管的制备和性能研究。具体研究内容如下：

1.壳聚糖的提取和纯化。本研究将采用天然海产品——虾壳作为原料，采用酸碱提取法、酶解法等多种方法提取和纯化壳聚糖。

2.低压氧化物薄膜晶体管的制备。本研究将采用化学气相沉积（CVD）法制备低压氧化物薄膜，并以壳聚糖为栅介质制备晶体管。

3.晶体管的性能研究。本研究将对制备成的晶体管进行电学性能测试，包括漏电流、开关电流等参数，并对晶体管的生物医学性质进行测试。

三、预期目标及意