【英语版】国际标准 ISO 13083:2015 EN Surface chemical analysis — Scanning probe microscopy — Standards on the definition and calibration of spatial resolution of electrical scanning probe microscopes (ESPMs) such as SSRM and SCM for 2D-dopant imaging and othe.pdf

ISO13083:2015是关于表面化学分析的标准，它涉及到扫描探针显微镜（SPM）在空间分辨率的定义和校准方面的标准。这个标准主要关注的是电扫描探针显微镜（ESPM）如扫描二次电子显微镜（SSRM）和扫描电容显微镜（SCM）在二维掺杂成像和其他目的方面的应用。该标准对ESPM的空间分辨率的定义、校准、实验步骤和数据处理方法等提供了详细的指南和要求。以下是对该标准的详细解释：

定义：该标准首先对空间分辨率（SpatialResolution）进行了定义。空间分辨率是指在给定的探测区域内，能够分辨的最小尺寸。对于ESPM来说，这意味着在给定的电压和电流条件下，能够分辨的最小物体形状或结构。

校准：标准强调了校准的重要性，包括对探针、扫描设置、环境条件、样品制备等方面的校准。校准的目的是确保显微镜的准确性和稳定性，从而得到可靠的结果。

实验步骤：标准提供了实验的详细步骤，包括样品准备、扫描设置、图像获取和分析等。标准还提供了在不同条件下进行实验的建议，以适应不同的样品和实验需求。

数据处理：标准还涉及到数据处理部分，包括如何解读和分析扫描图像、如何评估结果的有效性等。这些步骤对于获得准确和可靠的结果至关重要。

应用：该标准适用于各种材料和环境条件下的表面化学分析，特别是涉及到掺杂物成像和其他目的的情况。它为ESPM的使用者提供了一个全面的指南，帮助他们理解和应用该技术。

ISO13083:2015是一个非常重要的标准，它为ESPM的使用者提供了关于空间分辨率的定义、校准、实验步骤和数据处理等方面的详细指南。这些信息对于准确、可靠地应用ESPM进行表面化学分析至关重要。