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锰掺杂对钛酸铋钠基铁电薄膜的结构和电学性能的影响.docx

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    1绪论 1

    1.1铁电材料概述 1

    1.2电介质材料发展及应用 3

    1.2.1电介质材料储能原理 4

    1.2.2常见电介质材料分类 6

    1.3钛酸铋钠基铁电材料概述 7

    2BNT铁电薄膜的制备与表征 9

    2.1实验材料及设备 9

    2.2薄膜制备及实验环境 10

    2.2.1前驱体的制备 10

    2.2.2基底的选择与清洗 11

    2.2.3薄膜制备过程 11

    2.2.4顶电极制备 12

    2.3薄膜的微观结构表征 12

    2.4薄膜电学性能测试 13

    3BNT(1-x)Mnx薄

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