真空泵和工作原理的介绍.pdfVIP

真空泵是指利用机械、物理、化学或者物理化学的方法对被抽容器进行抽气

而获得真空的器件或者设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中

改善、产生和维持真空的装置。

由于真空应用部门所涉及的工作压力的围很宽，因此任何一种类型的真空泵

都不可能彻底合用于所有的工作压力围，只能根据不同的工作压力围和不同的工

作要求，使用不同类型的真空泵。为了使用方便和各种真空工艺过程的需要，有

时将各种真空泵按其性能要求组合起来，以机组型式应用。

随着真空应用的发展，真空泵的种类已发展了不少种，其抽速从每秒零点几

升到每秒几十万、数百万升。随着真空技术在生产和科学研究领域中对其应用压

强围的要求越来越宽，大多需要由几种真空泵组成真空抽气系统共同抽气后才干

满足生产和科学研究过程的要求。

常用真空泵包括：干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗

茨泵和扩散泵等，这些泵是我国国民经济各行业应用真空工艺过程中必不可少的

主力泵种。近年来，伴有着我国经济持续高速发展，真空泵相关下游应用行业

保持快速增长势头，同时在真空泵应用领域不断拓展等因素的共同拉动下，我国

真空泵行业实现了持续稳定地快速的发展。

真空泵的泵体的布置结构决定了泵的总体结构：1)、立式结构：进、排气口

水平设置，装配和连接管路都比较方便。但泵的重心较高，在高速运转时稳定性

差，故这种型式多用于小泵；2)、卧式结构：泵的进气口在上，排气口在下。有

时为了真空系统管道安装连接方便，可将排气口从水平方向接出，即进、排气方

向是相互垂直的。此时，排气口可以从左或者右两个方向开口，除接排气管道一

端外，另一端堵死或者接旁通阀。这种泵结构重心低，高速运转时稳定性好。普

通大、中型泵多采用此种结构。泵的两个转子轴与水平面垂直安装。这种结构

装配间隙容易控制，转子装配方便，泵占地面积小。但泵重心较高且齿轮拆装

不便，润滑机构也相对复杂。

真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对

同步运转的。主动轴通过联轴器与机电联接。在传动结构布置上主要有以下两种：

其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过

去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的

扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的最

大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及

调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。

所具有的特点：1)、在较宽的压力围有较大的抽速；2)、转子具有良好的几

何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，

磨擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；3)、泵腔无需用油密

封和润滑，可减少油蒸气对真空系统的污染；4)、泵腔无压缩，无排气阀。结构

简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；5)、压缩比较低，对氢气抽

气效果差；6)、转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较艰难。

水环式真空泵叶片的叶轮偏心地装在圆柱形泵壳。泵注入一定量的水。叶轮

旋转时，将水甩至泵壳形成一个水环，环的表面与叶轮轮毂相切。由于泵壳与叶

轮不同心，右半轮毂与水环间的进气空间4逐渐扩大，从而形成真空，使气体

经进气管进入泵进气空间。随后气体进入左半部，由于毂环之间容积被逐渐压缩

而增高了压强，于是气体经排气空间及排气管被排至泵外。

旋片式真空泵(简称旋片泵)是一种油封式机械真空泵。其工作压强围为

101325~1.33×10-2(pa)属于低真空泵。它可以单独使用，也可以作为其它

高真空泵或者超高真空泵的前级泵。它已广泛地应用于冶金、机械、军工、电子、

化工、轻工、石油及医药等生产和科研部门。

罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转，被抽气体从进

气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0，再经排气口排出。由于吸气后v0空间是

全封闭状态，所以，在泵腔气体没有压缩和膨胀。但当转子顶部转过排气口边缘，

v0空间与排气侧相通时，由于排气侧气体压强较高，则有一部份气体返冲到空

间v0中去，使气体压强蓦地增高。当转子继续转动时，气体排出泵外。

真空泵的好坏决定于其机