【英语版】国际标准 ISO 14606:2022 EN Surface chemical analysis — Sputter depth profiling — Optimization using layered systems as reference materials 表面化学分析 溅射深度剖面分析 使用层状系统作为参考材料进行优化.pdf

ISO14606:2022ENSurfacechemicalanalysis—Sputterdepthprofiling—Optimizationusinglayeredsystemsasreferencematerials是一个关于表面化学分析的国际标准，主要涉及溅射深度剖面分析，特别是使用分层系统作为参考材料的优化方法。

溅射深度剖面分析是一种表面分析技术，通过测量溅射过程中的元素损失来确定表面化学成分。在这个标准中，主要关注如何通过使用分层系统作为参考材料来优化分析过程。分层系统是一种包含不同厚度和成分的靶材，可以根据需要选择不同层作为参考层。

该标准详细阐述了使用分层系统进行优化的一些步骤和注意事项，包括选择适当的参考层、控制溅射条件、测量和分析数据等。通过这种方法，可以更准确地确定表面化学成分，并提高分析的准确性和可靠性。

这个标准提供了一种实用的方法，用于优化表面化学分析过程中的溅射深度剖面分析，从而更好地理解材料的表面性质和化学组成。