【英语版】国际标准 ISO 14644-15:2017 EN Cleanrooms and associated controlled environments — Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration 洁净室和相关受控环境 第15部分:根据空气传播的化学物质浓度评估设备和材料的适用性.pdf
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- 2024-07-20 发布于四川
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- | 2017-10-26 颁布
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ISO14644-15:2017《洁净室和相关的受控环境——第15部分:通过空气中的化学浓度评估设备与材料的适用性》是一份关于洁净室和相关受控环境的国际标准,它规定了评估设备和材料是否适合用于洁净环境的方法。
该标准主要涉及到洁净室环境中的空气质量要求。洁净室是一种特殊的环境,用于制造精密或高纯度产品的过程,如半导体制造、生物医药研发、光学器件生产等。为了确保这些高精度工艺的顺利进行,洁净室需要维持一定的环境条件,包括空气洁净度、湿度、温度、气流方向等。
标准ISO14644-15:2017详细规定了评估设备和材料是否适合用于洁净环境的一系列准则和方法。这些准则包括但不限于设备的表面处理、材料性质、密封性、空气泄漏等。对于每种设备和材料,都需要进行特定的测试和分析,以确定其在使用过程中是否会产生有害的空气污染物,或者是否会对已有的空气污染物产生吸附、释放等影响。
评估过程中,会通过测量空气中的化学浓度来进行。这包括对各种可能有害的物质,如颗粒物、挥发性有机物、无机气体等的浓度进行测量。通过定期或不定期的监测,可以了解洁净环境的空气质量是否发生了变化,进而评估设备和材料的适用性。
标准ISO14644-15:2017是洁净室和相关受控环境中的重要指南,它为评估设备和材料的适用性提供了具体的方法和标准,以确保这些环境能够满足高精度工艺的需求。
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