原创力文档【英语版】国际标准 ISO 15632:2021 EN Microbeam analysis — Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy-dispersive X-ray spectrometers (EDS) for use with a scanning electron microscope (SEM) or an electron probe mic.pdf
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ISO15632:2021标准是关于微束分析的标准，特别是关于用于扫描电子显微镜（SEM）或电子探针显微分析仪（EPMA）的能量色散X射线光谱仪（EDS）的性能规范和检查。这个标准提供了对EDS设备的特定性能参数的详细说明，以确保它们在微束分析中的准确性和可靠性。这些参数包括分辨率、灵敏度、测量误差、重复性、样品处理要求、X射线防护等。在进行微束分析时，这个标准为选择合适的EDS设备提供了指导，并确保了分析结果的准确性和可信度。这个标准对于科研、教育、工业和医学等领域中的微束分析实践具有重要指导意义。
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