3压电式传感器的应用讲解.pptVIP

压电式传感器的应用三、压电式加速度传感器1.压电式加速度传感器又称压电式加速度计，也属于惯性式传感器。它利用某些物质（如石英晶体）的压电效应，在加速度计受振时，质量块加在压电元件上的力也随之变化。当被测振动频率远低于加速度计的固有频率时，力的变化与被测加速度成正比。压电加速度传感器采用剪切和中心压缩结构形式，其原理是压电晶体的电荷输出与所受的力成正比，而所受的力在敏感质量一定的情况下与加速度值成正比。在一定条件下，压电晶体受力后产生的电荷量与所感受到的加速度值成正比。经过简化后的方程为Q＝dijF=dijMa（3-31）式中，Q为压电晶体输出的电荷量；dij为压电晶体的二阶压电张量；F为所受外力；M为传感器的敏感质量；a为所受的振动加速度值。每只传感器中内装晶体元件的二阶压电张量是一定的，敏感质量M是一个常量，所以式（3-31）表明压电加速度传感器产生的电荷量与振动加速度a成正比，这就是压电式加速度传感器完成的机电转换的工作原理。压电式加速度传感器承受单位振动加速度值能输出电荷量的多少，称为电荷灵敏度，单位为pC/ms-2或pC/g(1g≈9.8ms-2)。压电式加速度传感器实质上相当于一个电荷源和一只电容器，通过等效电路简化后，则可算出传感器的电压灵敏度为