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(1)扩散泵+升华泵超高真空机组扩散泵抽气原理：扩散泵油锅内的泵油在真空中加热到沸腾(~200°C)产生大量的油蒸气，油蒸汽经过导流管由各级喷嘴定向高速喷出。由于扩散泵气口附近的被抽气体分子的分压强高于蒸气流中该气体的分压强，所以被抽气体就不断地扩散到蒸气流中，油蒸气撞击被抽气体分子，使被抽气体分子沿蒸气流方向高速地定向运动。又被下一级油蒸气撞击，一直被机械泵抽走。1)工作压强范围：一般为10-4~10-8托，超高真空机组10-10左右2)抽速大、抽速范围宽（几升/秒~十几万升/秒），3)对各种气体无选择性，结构简单，便于维修。特别对于其它机组难以抽去的分子量小、热运动速度较大的分子（如H2，He等）的抽速相对较大。缺点：①有油污染的可能；②必须同时保证电和水的供应；③在超高真空中使用，必须有冷阱和液氮供应。泵的抽速：（升/秒）（升/秒）Q---泵每秒排走的气体量，（托升/秒）P—入口处压强（托）扩散泵的标称抽速与入口直径D（厘米）的关系(升/秒)H---何氏系数，取?0.3~0.4它表示泵的效率(2)分子泵+钛升华泵超高真空机组钛升华泵：钛钼丝（85%钛，15%钼）在恒定电压下工作。24%的钛能以恒定的蒸发率蒸发。工作温度1200~1500oC热辐射球蒸发器的结构如图。一般钛球壳体的半径为1.24英寸（31.5毫米）球壳厚度0.15英寸（3.8毫米）。当输入功率为450瓦时，钛球的升华率为0.01克/小时，输入功率为710瓦时，钛球升华率可达0.5克/小时。钛离子溅射泵钛离子溅射泵的工作原理一个厚为0.1~0.3毫米，直径为12~40毫米的不锈钢薄壁园筒阳极和在阳极两端的两个相对的钛阴极（厚度为1~3毫米）组成。阳极与阴极之间加3~7千伏电压。阳极园筒的轴向加上1000~2000高斯的磁场。两阴极距不超过60毫米，以保证阳极筒内的磁场强度。为有一定的流导，阳阴极的间隙为4~8毫米。溅射离子泵抽速为0.2~3升/秒，可组成抽速为10~30000升/秒的各种泵。图中K是阴极（钛板）阳极溅射离子泵的潘宁放电如图。电子在洛伦兹力的作用下，作轮滚线运动。轮滚线的大小是电子速度和磁场强度的函数。电子经过很长的路程才落到阳极（10-10Torr时约为1万公里）。很多电子绕阳极筒旋转形成旋转电子云，旋转频率约为100兆赫数量级，储存的电荷密度可达1010[个/立方厘米]量级。上述的是以二极溅射离子泵为例，下图是改进的三极溅射离子泵气体分子和旋转的电子碰撞而被电离。离子在电场的作用下，飞向并轰击阴极钛板产生两种作用：溅射钛和打出二次电子。钛离子溅射泵工作电流与真空室的气压之间的关系。§2-2清洁表面的制备污染的三种：1）表面上的氧化物，尤其是在金属表面上，2）吸附的各种气体和杂质，3）恢复晶体表面的完整性、消除缺陷和损伤。一在超高真空系统里获得新的表面1)在超高真空中解理(cleavage)2)蒸发薄膜法二在超高真空系统里除去所沾污的杂质和气体，而得到清洁表面1)场致脱附2)离子轰击右图是差分抽气离子枪三高温处理对于熔点高于1000°C的样品(主要是金属),在超高真空中,经过足够长时间的高温处理,可使沾污物脱附.有时,采取真空闪烁退火(flashevaporation)来除去表面层的杂质.但是要注意有时会引进杂质或会使样品性质发生变化,以及体内杂质向表面扩散.四利用化学反应Pt,Ni中的C杂质在高温退火时会有体内向表面偏析.而C又不能加热脱附,这时可加氧气使之成为CO脱附,而氧又可用氢气来还原.五其他§2-3表面分析方法的分类一表面物理测量方法可分为三类方法⑴以电学和光学技术为基础的方法.属于此法的有功函数,表面场效应,椭偏光,光电导等.这类方法主要是测量固体体内与其表面之间的电子转移过程,从而获得表面态密度和能量的定量信息,一般用于半导体.⑵表面光(电)谱方法这类方法是表面分析中运用最多的,也是本课程的重点.有LEED,XPS,UPS,AES,EELS等.这类方法是以某种粒子入射到表面,从而获得带有一定信息的另一种(或同一种)粒子.⑶化学方法这类方法主要是提供吸附质与固体表面成键的信息.主要在吸附和催化方面的体系.红外吸收(IRAS),程序升温脱附等*表面物理李海洋基本相互作用21世纪物理学复杂体系（生命）凝聚态物理学研究固体、液体及其居间态(软物质)前沿：强关