基于激光辐照的铜薄膜疲劳寿命研究.doc

PAGEi

基于激光辐照的铜薄膜疲劳寿命研究

摘要

铜薄膜广泛应用于大规模集成电路及微机电系统中，其常在循环应力的作用的条件下出现损坏，MEMS器件使用寿命及长期服役可靠性已经被铜薄膜的疲劳寿命所限制，其可靠性及失效问题已然非常重要。因激光表面处理拥有迅速加热、输出功率可控且准确及可选区域局部处理等优点，激光处理表面对薄膜疲劳寿命影响已被广泛研究。但对于微尺度铜薄膜及存在一定程度损伤的微尺度铜薄膜的激光处理工艺参数、愈合机理的研究还很少，尚需进一步研究。通过对疲劳损伤的铜薄膜进行疲劳损伤愈合试验，寻找到合适的激光辐照参数，改善铜薄膜微观组织结构，修复铜薄膜疲劳损伤，延长铜薄膜疲劳寿命。