等离子创新实验室产业化产品(1Feb2016).pdfVIP

等离子创新实验室产业化产品(1Feb2016).pdf

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等离子体无处不在

半导体空气/水

太阳能电池表面处理

芯片净化

器件、装置

太空电推进等离子体电视3D打印

清洁

联合研发实验室(PIL/PSAC/NTU)

•誉为新加坡“No.1”等离子体研发中心

•与南洋理工大学紧密科研合作

•联合实验室总面积超过1000m2

到访过实验室的诺贝尔奖得主

发展记录

•28年等离子体/射频开发经验

•10项专利、原创技术

受国际认可的

•60多次邀请报告

•首次应用Non-Maxwellian等离子体诊断与控制技术•200多篇学术论文

•首家专门研究大气微等离子体清洁技术•2500多次引用

•首创等离子体原子化技术•组织10次等离子体国际会议

COMPANYCONFIDENTIAL4

马来西亚国内国内

首席研究员/顾问资深研究员教授

PIL研发团队

COMPANYCONFIDENTIAL5

研发团队

•新加坡第一家等离子体研究中心

首席研究员

•拥有超过10项技术专利

PSAC/NTU

•在研科研经费超过200万新币

•发明并成功产品化用于半导体清洁的新型

等离子体技术

创始人/技术总监•获得150万美元初始投资

INNOVO/PIL•受邀参加2015年台北半导体国际展览会

•拥有紧密合作工业界客户群

Dr.CHAN

(CEO)技术总顾问

TECHXCEL/NTU

•南洋理工大学直属科技孵化产业转化中心

•带领多个重大科技成果产业化项目

COMPANYCONFIDENTIAL6

研发团队

•徐禄祥(

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