DB32T-微机电系统半导体气体传感器性能检测方法.docVIP

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江苏省市场监督管理局发布2023-XX-

江苏省市场监督管理局发布

2023-XX-XX实施

2023-XX-XX发布

微机电系统半导体气体传感器性能

检测方法

TestmethodofperformanceofsemiconductorgassensorbasedonMEMS

（送审稿）

DB32/TXXXX—XXXX

DB32

江苏省地方标准

ICS31.080

CCSL40

备案号：

DB32/TXXXX-XXXX

目次

TOC\o1-3\h\z\u前言 II

1范围 1

2规范性引用文件 1

3术语和定义 1

4试验条件 1

5检测方法 2

6记录 5

附录A浓度试验箱装置介绍与气体配置方法 7

参考文献 9

DB32/TXXXX-XXXX

DB32/TXXXX-2016

II

前言

本文件按GB/T1.1-2020《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》编制。

本文件由江苏省纳米技术标准化技术委员会提出并归口。

本文件起草单位：苏州市计量测试院、苏州慧闻纳米科技有限公司

本文件主要起草人：史苏娟、方丹、耿彦红、王瑞、董亮华、徐春、王震、孙旭辉。

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微机电系统半导体气体传感器性能检测方法

1范围

本文件规定了微机电系统半导体气体传感器性能检测的试验条件、检测方法、记录。

本文件适用的微机电系统半导体气体传感器可检测气体种类包括但不限于甲烷、一氧化碳、硫化氢、氮氧化物等无机气体，以及烷烃、醇、醚、酯、酸、苯系物等挥发性有机气体。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T34004-2017家用和小型餐饮厨房用燃气报警器及传感器

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

微机电系统半导体气体传感器Micro-Electro-MechanicalSystems（MEMS）semiconductorgassensor

一种基于半导体敏感材料，采用微机电系统加工工艺制作的，能感受气体（组分、分压）并转换成可用输出信号的传感器。

3.2

传感器检测装置sensortestmodule

用于将传感器特性转换为输出信号的测试装置。

[来源：GB/T34004-2017，3.5]

4试验条件

4.1检测条件

实验室内环境条件应符合以下要求：

a)环境温度：（15?30）℃，试验过程中温度波动不应超过±2℃；

b)相对湿度：（35?80）%，试验过程中湿度波动不应超过±5%RH；

c)大气压力：（86?106）kPa。

4.2试验设备

试验设备应符合以下要求：

a)秒表：分度值不大于0.1s；

b)功率计：功率(0~10)W，分辨力0.1mW，最大允许误差：±10%；

c)电压表：直流电压（0～50）V，准确度级别优于1.0级；

d)浓度试验箱：试验箱内部结构及气体配置方法参照附录A。

4.3样品准备

4.3.1试验前检查传感器表面有无腐蚀、起泡现象，有无明显划伤、裂痕、毛刺等机械损伤。

4.3.2试验前待试验的样品应在4.1规定的环境条件下通电预热，预热时间根据制造商的规定。

4.3.3为了测试的目的，传感器送检同时提供检测装置，在测试传感器信号输出时把传感器安装在该装置上进行试验。

4.3.4样品检测项目与样品编号对应表见表1。完成全部检测项目需要的样品数量为8只，试验前应对样品予以编号。具体样品数量根据检测项目与客户协商确定。

表1检测项目与样品编号对应表

序号

章条

检测项目

传感器编号

1

2

3

4

5

6

7

8

1

5.1

功率

√

√

2

5.2

传感器最低检测浓度

√

√

√

√

√

√

√

√

3

5.3

传感器检测误差

√

√

√

√

√

√

√

√

4

5.4

响应时间与恢复时间

√

√

√

√

√

√

√

√

5

5.5

漂移

√

√

√

√

√

√

√

√

6

5.6

抗干扰气体性能

√

√

7

5.7

抗硅中毒性能

√

√

8

5.8

耐高温性能

√

√

9

5.9

耐低温性能

√

√

10

5.10

耐恒定湿热性能

√

√

11

5.11

耐振动性能

√

√