【英语版】国际标准 ISO 14594:2003 EN Microbeam analysis — Electron probe microanalysis — Guidelines for the determination of experimental parameters for wavelength dispersive spectroscopy 微束分析 电子探针显微分析 波长色散光谱实验参数确定指南.pdf

ISO14594:2003ENMicrobeamanalysis—Electronprobemicroanalysis—Guidelinesforthedeterminationofexperimentalparametersforwavelengthdispersivespectroscopy是关于微束分析的国际标准，特别是电子探针显微分析（EPMA）中的波长分散光谱（WDX）分析的实验参数确定指南。

以下是对该标准的详细解释：

ISO14594标准主要关注的是在电子探针显微镜（EPMA）中进行微束分析时，如何选择和确定实验参数，特别是波长分散光谱（WDX）分析的参数。这个标准提供了详细的指南，帮助用户优化实验设置，以便获得准确和可靠的元素分析结果。

具体来说，该标准涵盖了以下主要内容：

1.仪器选择：该标准建议根据待分析材料的性质和要求选择适当的仪器型号和配置。这包括考虑EPMA的分辨率、放大倍数、元素灵敏度等因素。

2.样品准备：该标准强调了样品制备的重要性，包括合适的切割、磨抛和蚀刻等步骤，以确保样品能够充分暴露并适合进行分析。

3.实验参数设置：该标准详细说明了如何设置实验参数，包括电子束束流、扫描速度、扫描模式、样品移动速度等。这些参数的选择应根据待分析元素的性质、所需的分析精度和仪器性能进行优化。

4.波长分散光谱（WDX）分析：该标准特别关注了WDX分析的参数确定，包括激发电压、扫描区域、扫描次数、扫描步长等。这些参数的选择对于获得准确的元素组成和含量结果至关重要。

5.数据处理：该标准强调了数据处理的重要性，包括对分析结果的解释、不确定度的评估和报告等。

ISO14594标准为EPMA中的WDX分析提供了详细的实验参数确定指南，有助于用户优化实验设置，获得准确和可靠的分析结果。在实施过程中，该标准应该结合具体的分析任务和实验室条件进行适当的调整和应用。