【英语版】国际标准 ISO 14644-10:2013 EN Cleanrooms and associated controlled environments — Part 10: Classification of surface cleanliness by chemical concentration 洁净室及相关受控环境 第10部分：按化学浓度划分的表面洁净度等级.pdf

ISO14644-10:2013ENCleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part10:Classificationofsurfacecleanlinessbychemicalconcentration是关于洁净室及相关受控环境的国际标准第十部分，即通过化学浓度的表面清洁度的分类。这个标准主要涉及到洁净室的环境控制，特别是对于表面清洁度的要求和检测。洁净室是为了生产高精度电子部件，如半导体，显示器等，而特别设计的一种特殊环境。在这个环境中，灰尘，微生物，静电等都是需要严格控制的。标准中详细规定了洁净室的建筑要求，空气过滤系统，环境监测要求，人员进出规定等。对于表面清洁度的检测，标准ISO14644-10:2013通过化学浓度的分类来进行。具体来说，它根据空气中各种化学物质浓度的不同，将表面清洁度分为不同的等级。这种分类方法可以有效地评估和监测洁净室的清洁程度，以确保其符合生产要求。