【英语版】国际标准 ISO 14644-8:2006 EN Cleanrooms and associated controlled environments — Part 8: Classification of airborne molecular contamination 洁净室及相关受控环境 第8部分:空气中分子污染的分类.pdf
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- 2024-08-10 发布于四川
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ISO14644-8:2006标准主要涉及到洁净室和相关的受控环境,这是在生物技术和微电子工业中非常重要的一部分。此标准规定了空气中的分子污染物的分类方法。
这个标准的目的是为了提供一个框架,用于评估和控制环境中的微粒和气态污染物,以确保它们不会对敏感的制造过程产生不利影响。空气中的微粒和气态污染物可能会对产品的质量和性能产生负面影响,因此对这些污染物的控制是至关重要的。
标准ISO14644-8:2006中定义了空气中的分子污染物分为几个等级,通常被称为“类别”或“类型”。这些等级基于微粒和挥发性有机物的特性和浓度。级别越高,污染物的特性和数量就越多,对洁净室环境以及在其中进行的敏感制造过程的潜在影响就越大。
这些等级包括:
*类别0:没有分子污染物。这是洁净室启动时的初始状态,此时所有的设备、人员和操作都应进行清洁和消毒。
*类别1:含有少量已知的、稳定的分子污染物,如尘埃、微生物和挥发性物质。这个等级适用于大多数常规清洁和消毒后的洁净室。
*类别2:含有高浓度的未知或不稳定分子污染物。这个等级通常用于高度敏感的生产过程,如微电子制造。
*类别3:含有高度有毒或致癌的分子污染物,如臭氧、氮氧化物和其他挥发性有机化合物。这个等级只应在绝对必要的情况下使用,因为它对人类和环境都有潜在的危害。
ISO14644-8:2006还规定了如何测量和控制空气中的微粒和挥发性有机化合物,包括使用适当的仪器和方法,以及如何根据生产过程的需求调整洁净室的等级。
标准ISO14644-8:2006为洁净室环境中的微粒和气态污染物的控制提供了一个全面而详细的标准,以确保这些环境满足不同类型敏感制造过程的需求。
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